中微公司第三代刻蚀机量产验证

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中微公司第三代刻蚀机量产验证

NBA资讯

2026-02-28 07:11:03

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中微公司成功研发第三代刻蚀机，支持10纳米至7纳米晶圆工艺，并已在多家国际主流晶圆厂进入验证生产阶段。该设备已获台积电、联电、意法半导体及博世半导体等企业采用。

其第一代刻蚀机曾用于加工300毫米晶圆，适配65至45纳米制程；当前技术路线明确指向5纳米及3.5纳米更先进节点，全部产品均具备自主专利技术，实现从追赶到并跑的关键跨越。

作为中国半导体关键装备代表企业，中微在刻蚀领域打破长期海外垄断，成为全球少数能提供高端介质刻蚀解决方案的供应商之一，支撑全球先进逻辑芯片与存储芯片制造需求。

评论区

kzhibo球迷

中微公司刻蚀机杀入台积电供应链，国产半导体装备崛起真不是梦！

2026-02-27 12:05:38

kzhibo球迷

台积电用上中微刻蚀机？晶圆工艺精度又上新台阶，硬核实力藏不住了！

2026-02-26 18:58:38

kzhibo球迷

谁说中国造不出高端刻蚀机？中微公司打破垄断，晶圆工艺自主可控稳了！

2026-02-27 00:01:39

kzhibo球迷

从追赶到并跑，中微公司刻蚀机挺进台积电产线，半导体装备国产替代加速！

2026-02-26 18:20:25

kzhibo球迷

晶圆工艺卡脖子成历史？中微刻蚀机获台积电认证，国产半导体装备扬眉吐气！

2026-02-27 14:33:46

kzhibo球迷

台积电都选中微刻蚀机，这背后是十年磨一剑的晶圆工艺攻坚与技术自信！

2026-02-27 01:33:29

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